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PFCs Treatment System
반도체/디스플레이 공정에서 배출되는 온실가스 (SF6, CF4, NF3 등) 저감 시스템
고온열분해 및 급속냉각을 통한 95%이상의 높은 분해 효율
고온열분해 및 급속냉각을 통한 95%이상의 높은 분해 효율
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